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光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。使用等离子清洗机对汽车门板进行预处理，可以去除表面污染物和残留物，提高表面的清洁度和活性。山西plasma等离子清洗机生产企业
等离子清洗工艺具有效果明显、操作简单的优点，在电子封装(包括半导体封装、LED封装等)中得到了广泛的应用。LED封装工艺过程中,芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量,如果在封装工艺过程中的点胶前、引线键合前及封装固化前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物。LED封装工艺在LED产业链中,上游为衬底晶片生产,中游为芯片设计及制造生产,下游为封装与测试。研发低热阻、优异光学特性、高可靠的封装技术是新型LED走向实用、走向市场的必经之路,从某种意义上讲封装是连接产业与市场之间的纽带,只有封装好才能成为终端产品,从而投入实际应用。LED封装技术大都是在分立器件封装技术基础上发展与演变而来的,但却与一般分立器件不同,它具有很强的特殊性,不但完成输出电信号、保护管芯正常工作及输出可见光的功能,还要有电参数及光参数的设计及技术要求,所以无法简单地将分立器件的封装用于LED。山西plasma等离子清洗机生产企业等离子技术是一新兴的领域，该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应。
在线式真空等离子清洗机的优势：????载台升降可自由按料盒每层的间距设定；????载台实现宽度定位，电机根据程序参数进行料盒宽度调节；????推料舍片具有预防卡料及检测功能，根据产品宽度切换配方进行传送；????同时每次清洗4片，双工位腔体平台交替，实现清洗与上下料的同步进行，减少等待时间，提高产能；????一体式电极板设计能在制程腔体产生均一密度等离子体。在线片式真空等离子清洗机产品原理：通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
芯片封装等离子体应用包括用于晶圆级封装的等离子体晶圆清洗、焊前芯片载体等离子体清洗、封装和倒装芯片填充。电极的表面性质和抗组分结构对显示器的光电性能都有重要影响。为了保的像素形成和大的亮度，喷墨印刷的褶皱材料需要非常特殊的表面处理。这种表面工程是利用平面微波等离子体技术来完成的，它能在表面和衬底结构上产生所需的表面能。工艺允许选择性地产生亲水和疏水的表面条件，以控制像素填充和墨水流动。微波平面等离子体系统是专为大基板的均匀处理而设计的，可扩展到更大的面板尺寸。引进300毫米晶圆对裸晶圆供应商提出了新的更高的标准要求：通过将直径从200毫米增加到300毫米，晶圆的表面积和重量增加了一倍多，但厚度却保持不变。这增加了破碎险。300毫米晶圆具有高水平的内部机械张力（应力），这增加了集成电路制造过程中的断裂概率。这有明显的代价高昂的后果。因此，应力晶圆的早期检测和断裂预防近年来受到越来越多的关注。此外，晶圆应力对硅晶格特性也有负面影响。sird是晶圆级的应力成像系统，对降低成本和提高成品率做出了重大贡献。等离子表面处理机常用的气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。
随着集成电路技术的发展，半导体封装技术也在不断创新和改进，以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案，能够满足先进半导体封装的要求，被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑，并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前，基板上如果存在污染物，银胶容易形成圆球状，降低芯片粘结度。因此，在DB工艺前，需要进行等离子处理，提高基板表面的亲水性和粗糙度，有利于银胶的平铺及芯片粘贴，提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量，降低成本。等离子清洗机对所处理的材料无严格要求，无论是金属、半导体、氧化物，都能进行良好的处理。山西plasma等离子清洗机生产企业
通常我们接触到得到等离子的方式有三种：高温（燃烧）、高压或者高频、高压源（等离子电源）下产生。山西plasma等离子清洗机生产企业
目前，在汽车发动机领域，油底壳与曲轴箱、曲轴箱与缸体等密封面通常采用硅胶密封，这些硅胶密封面常因残留有机物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅胶的附着力不足，从而导致密封失效，发动机漏油。目前的常规工艺为涂胶前对涂胶面进行人工擦拭，而人工擦拭存在诸多缺点，无法达到清洁的要求。等离子清洗机的应用能够很好地解决这些问题，目前已经应用到光学行业、航空工业、半导体业等领域，并成为关键技术，变得越来越重要。等离子清洗机发动机涂胶面上的应用：发动机涂胶面残留的有机物薄膜，通常为碳氢氧化合物(CHO,);等离子清洗的过程如下:将压缩空气电离成低温等离子体，通过喷枪喷射到涂胶表面，利用等离子体(主要利用压缩空气中的氧气作为反应气体)对有机物的分解作用，将涂胶表面残留的有机物进行分解，以达到清洁目的。反应过程主要有两种:第一种化学反应，将压缩空气电离后获得大量氧等离子体:氧等离子体与有机物作用，把有机物(CHO,)分解成二氧化碳和水,CHyOz+O*→H20+CO2,二种是物理反应，压缩空气电离成等离子体后，等离子体内的高能粒子以高能量、高速度轰击涂胶面表面，使分子分解。山西plasma等离子清洗机生产企业
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